すずかけ台電子デバイスグループ
すずかけ台キャンパス内の半導体デバイス研究用のクリーンルームと関連実験室の共用化と統一的運用
関連リンク
特徴
すずかけ台キャンパス内の半導体デバイス研究に利用されるクリーンルームと関連の共同利用実験室およびその中に設置されている多くの研究設備を共用化し、全体を統一的に運用して多くのユーザーが必要な研究設備を効率よく利用できるようにしている。
キャンパス内には半導体電子デバイス、光デバイスの製作を行う研究に携わる研究室が多く存在するため、ここで共用に供する実験設備類は約70台が稼働し、デバイス作製プロセスおよび測定評価の大部分をカバーできるものがそろっている。
これらの共用設備を多くのユーザーが効率良くかつ安全に利用できるように、実験室サイト毎に実験室使用のための講習会を定期的に開くとともに、個々の設備類の新規ユーザーには技術支援員や学生RAによる導入インストラクションができる体制を整えている。
期待される効果と今後の取り組み
個々の研究設備をより有効活用できるとともに、研究者にとっては製作実験に利用できる加工プロセスや測定評価の手段の選択肢が広がることになり、実験研究の範囲を広げ、効率よくよりレベルの高い研究成果につなげる可能性が高まる。
また、この分野の機器・設備を持たない理学やバイオなど異分野の研究者がその研究成果やアイデアをデバイス試作で研究展開させようという場合に、本共用システムを利用してもらうことも大変有効である。同様に、新たに着任する若手研究者や、内外の共同研究などで本学での研究を新たに開始する研究者が、研究を早期に立ち上げることにも本共用システムは貢献できる。
多くの機器設備を一体管理運営してゆくことで、スペースの利用効率を高め、維持管理を効率的に行う。さらに、安全教育を全体で組織的に実施することで、より高い安全性の確保をはかっている。
利用等についての問い合わせ
下記のグループ代表にメールでご連絡ください。
科学技術創成研究院 未来産業技術研究所 筒井一生
メール：ktsutsui[at]ep.titech.ac.jp TEL/FAX 045(924)5462 ([at]を@に置き換えてください)